典型應(yīng)用:精密制造、計(jì)量檢測(cè)、變形監(jiān)測(cè)、顯微鏡、材料測(cè)試、震動(dòng)檢測(cè)。
被測(cè)物體與傳感器各自作為一個(gè)平板電極。通過(guò)給傳感器一個(gè)持續(xù)穩(wěn)定的交流信號(hào),其電壓的振幅變化與傳感器到被測(cè)物體之間的距離成正比。交流信號(hào)經(jīng)過(guò)解調(diào),可以測(cè)出位移量。電容式位移傳感器具有信噪比大,靈敏度高,頻響寬,非線(xiàn)性小,精度穩(wěn)定性好,無(wú)損耗等特點(diǎn)。