典型應用:精密制造、計量檢測、變形監測、顯微鏡、材料測試、震動檢測。
被測物體與傳感器各自作為一個平板電極。通過給傳感器一個持續穩定的交流信號,其電壓的振幅變化與傳感器到被測物體之間的距離成正比。交流信號經過解調,可以測出位移量。電容式位移傳感器具有信噪比大,靈敏度高,頻響寬,非線性小,精度穩定性好,無損耗等特點。