典型應用:
AFM/SPM/SFM、光學探針、表面檢測、半導體加工、高密度存儲。
納米位移系統的應用越來越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學設備、半導體設備到各種高新技術行業。納米位移系統能夠產生和測量優于納米(nm)的位移,整個系統包含3部分:納米位移臺、控制器和控制軟件。